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真空鍍膜是一種產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。
然而，真空鍍膜機的先決條件是要確保真空腔室具有良好穩定的真空度。目前，真空鍍膜設備密封形式多采用單根橡膠圈密封，這種密封形式適用于較小密封面的密封，對于較大密封面采用該種密封方式容易出現密封效果不佳的問題。
提供一種安全可靠的真空鍍膜設備，本系統由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。
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